TECHNOLOGY

半导体检测解决方案

Saki开发了先进的自动光学和X射线检测系统,应用于先进的半导体封装工艺。
我们的解决方案能够精准检测微凸点、TSVs (TGVs) 及其他关键结构的缺陷。我们应对半导体器件制造日益微型化和复杂化的挑战,支持人工智能、5G和电动出行时代的高可靠性质量保证。

半导体封装中的检测目标

01

三维微凸点检测

Saki 的高分辨率 3μm SPI 可以实现薄印刷微凸块的自动检查。
虽然是自动目视检查,但它可以以与 3D 测量仪器相同的精度测量微凸块。
它还支持 50 μm 或更小的模板的焊锡印刷检查。

02

芯片表面高度测量

Saki 的高分辨率 3μm AOI 通过测量芯片尖端的高度来检查芯片尖端下方的芯片和异物。
芯片表面为镜面,不适合进行光学测量,但Saki的特殊成像方法即使在镜面上也能进行精确的高度测量。

使用3µm AOI检测芯片缺损

03

微凸点、C4凸点和BGA凸点的同步X射线检测

高分辨率X射线检测

Saki的高分辨率AXI解决方案提供了半导体内部焊点的自动化X射线检测。
为了检测半导体芯片与中介层之间的微凸点,我们通过组成平面CT的刚性和精密的定位台,实现了高分辨率的断层扫描成像和较大的景深。细致的系统校准进一步确保了检测结果的稳定性和精确性。

“一次扫描,多层检测”

Saki AXI系统的一大特色是能够在一次扫描中准确区分并检测多个焊接层,即使是复杂的多层半导体封装结构。
不同于传统需要多次扫描的系统,Saki专有的平面计算机断层扫描(PCT)技术只需一次扫描即可完成芯片内所有焊点的全层检测和分析。这减少了检测时间,并显著降低了X射线的曝光量。

多层封装检测

Saki的3D CT检验为复杂的半导体封装提供了卓越的高分辨率成像。它在处理微凸点(20µm)桥接检测、C4凸点(70µm)和BGA凸点(150µm)非湿润和气孔检测等复杂检查方面表现出色,确保对内部结构的全面评估和分析。

高速检测以适应在线实施

Saki 的 AXI 也用于 SMT 工艺的 X 射线检测,满足在线处理所需的周期时间。
Saki AXI 独特的高速处理能力使得成像和计算几乎可以同时进行,从而实现 3D 数据的实时采集和检查。

降低辐射暴露风险

Saki的X射线检查设备配备了辐射剂量模拟器,可以预测身体各部位的辐射剂量并优化成像条件。此外,X射线仅在成像时发射,从而最大限度地减少了辐射暴露。

辐射暴露模拟器

Saki 的 X 射线检测技术可在此处找到 >
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Saki 始终致力于推动半导体检测领域的创新。展望未来,我们将扩展产品组合,涵盖晶圆级检测解决方案,强化我们在半导体制造过程中实现端到端质量保证的承诺。

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